- メーカー(モデル名)：Dada Korea
- スクリーンイオン窒化チャンバーの容量：572 L
- チャンバー加熱温度：Max 500 ℃

Vacuum range：Max 1 ✕ 10-9 Torr
- SCADAモニタリングプログラムを使用